用于校準平行量塊的量塊測試站 EPP 使用激光干涉測量探頭 LM 20 作為上測量探頭。測量范圍為 20 mm,分辨率為 1 nm。Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig 確定了一個(gè)該探頭的量塊校準的測量偏差小于 10 nm。根據 PTB 的建議,對于 122 塊量塊組,所需的標準量塊數量可以減少到 15 個(gè)。量塊檢查裝置的線(xiàn)性誤差(未對準、探頭未對準、溫度影響)可以通過(guò)校準程序確定和校正。量塊測試站的便捷操作以及測量值的校正、評估和輸出通過(guò)帶有“PEKAL”軟件(平行量塊校準)的PC進(jìn)行。
校準一套 122 件套只需大約 15 個(gè)標準件
由于重新校準工作量低而節省成本
通過(guò)用戶(hù)指導的測量過(guò)程和少量標準量塊節省測量時(shí)間
可以校準不尋常的標稱(chēng)尺寸和材料
整個(gè)測量范圍內的高線(xiàn)性度
在整個(gè)測量范圍內恒定的測針測量力
使用“PEKAL”評估軟件校正測試對象和常溫